Phytron VSS/VSH 系列真空步进电机广泛用于半导体磁控溅射、EUV 光刻机晶圆对准台、真空晶圆机械手、高低温真空探针台、离子注入束流调节、SEM...

Phytron VSS52-xxx-HV 整套电机减速机极限耐受真空为 10⁻¹¹ hPa，常规稳定使用区间 10⁻⁷~10⁻⁹ hPa。

主要用于半导体镀膜、电镜 / 质谱科研仪器、航天真空模拟、高能物理加速器、低温真空化工、风电真空实验台，完成高真空环境下低速大扭矩精密定位与角度调节。

Phytron APS01 为 24–70VDC、5A 峰值两相步进功率模块，最高 1/512 细分、500kHz 脉冲频率，支持脉冲方向 / SPI...

电机尾部编码器固定 5VDC 供电；动力绕组由驱动器 24~70VDC 直流母线驱动，额定相电流 5A 恒流控制。