Phytron VSH80.200.5‑UHVG 应用场景

注意：UHVG 为润滑脂润滑版本，不适合‑100℃以下深冷工况，深冷要选用 UHVS/UHVC 固体润滑型号。

科研真空设备

1. 电子显微镜、冷冻电镜腔体内部：样品台、滤光轮、光阑镜片精密旋转位移驱动
2. 质谱分析设备：真空腔体内样品切换、靶片偏转机构
3. 高能物理、粒子加速器：探测器、挡板、狭缝调节机构，耐受辐射环境

真空镀膜 / 溅射行业

1. 磁控溅射设备：靶材角度调节、挡板、快门驱动
2. PVD 真空镀膜机：工件转台、基片托架定位旋转
3. 光学镀膜设备：镜片、光栅角度精密调节，低放气不污染膜层phytron-mo...

半导体设备

1. 超高真空腔体内部传动、晶圆载台、挡板机构
2. 真空处理腔体内阀门、光闸驱动定位

航天与辐射环境设备

1. 地面航天模拟真空舱机构驱动，抗辐射 10⁶J/kg
2. 空间地面试验设备，满足航天级低出气 TML＜1%，CVCM＜0.1% 标准

洁净室工况

ISO5 级洁净室设备，无油气析出，可直接布置在洁净腔体内部Phytron Gm

不适用场景

• 液氮级深冷（‑100℃及以下），润滑脂会凝固失效
• 强腐蚀气体直接接触电机本体
• 大气普通环境（普通环境使用会缩短真空电机寿命，成本过高）