VSS 与 ZSS 的真空等级差别:52 机座的出线与脱气
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真空等级不是标称出来的,而是出线与绝缘材料决定的。普通电机进高真空,最先出问题的是引出线绝缘层放气,腔体真空度迟迟抽不下去。
一、两类的差别
- VSS:高真空优化,特氟龙或同等级出线,低放气灌封。
- ZSS:低真空与洁净环境,标准真空出线,成本更低。
- 选择:腔体极限真空优于 1E-5 mbar 时选 VSS。
二、脱气与烘烤
- 烘烤:装机前按厂家建议温度烘烤,去除吸附水汽。
- 出线:出线长度按腔体走线定,接头尽量留在腔外。
- 润滑:真空脂用量少而薄,多了反而放气。
三、热与传动
- 传导:电机座与腔体法兰贴合,用导热垫降低温升。
- 联轴:真空侧联轴器选不锈钢波纹管型,避免橡胶件。
- 位置:电机尽量置于腔外,通过磁流体密封传动。
VSS 52.200.1,2-HV-4Lp 已在产品中心,与站内 ZSS 52 系列形成真空等级梯度,按极限真空选型即可。

