德国Phytron全系真空步进电机工况适配及完整技术参数

德国 Phytron 全系真空步进电机 工况适配 + 完整技术参数

一、产品总览

Phytron 真空电机核心分为四大系列：VSS 微型真空步进、VSH 标准大功率真空步进、LA 真空低温线性执行器、phySPACE 宇航级真空电机，全系德国原厂制造，两相混合式步进，1.8°/200 步标准配置，专为真空、低温、高温、强辐射腔体设计，低放气航天级材料（TML＜1%，CVCM＜0.1%）Phytron GmbH。

VSS/VSH真空电机实物

二、VSS / VSH 旋转真空步进电机（主力通用真空系列）

1. 真空等级细分型号与工况适配（4 档标准真空规格）

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型号后缀 极限真空度 标准工作温度 抗辐射等级 适用工况

FV（粗真空） 10⁻³ hPa -20℃ ~ +150℃ 10⁴ J/kg 普通镀膜、小型真空腔体、工业检漏设备

HV（高真空） 10⁻⁷ hPa -20℃ ~ +200℃ 10⁵ J/kg 电子束蒸镀、磁控溅射、光学真空平台

UHV（超高真空） 10⁻¹¹ hPa -20℃ ~ +300℃ 10⁶ J/kg 半导体晶圆、粒子加速器、超高真空光学镜台

UHVC（超低温 UHV） 10⁻¹¹ hPa -270℃ ~ +40℃ 10⁶ J/kg 液氮 / 液氦低温腔体、冷冻电镜、低温样品台

2. 通用基础技术参数（VSS/VSH 全系统一）

电机结构：两相混合步进，标准 200 步 / 转，步距角 1.8°，步精度 ±5%；可选 72/500 特殊步数

法兰尺寸：19/26/32/42/57/80/100/125mm（NEMA8~NEMA34）

保持扭矩范围：3.4 mNm ~ 13 Nm

驱动电压：19~57 机座 DC70V；80~125 机座 DC120V

相电流：0.6A/1.2A/2.5A/5A/10A 多绕组可选

出线：标准 4 线，可选 5/6/8 线；真空专用低析出电缆

真空结构：内置排气孔，消除内部积气；全不锈钢壳体，干式固体润滑

定位能力：支持 1/512 微步，搭配编码器重复定位 ±1μm 以内

防护：真空腔体内部 IP00，外部接线端 IP40

可选配件：VGPL 精密行星 / 谐波减速、Pt100/K 型热电偶测温、双出轴、电磁刹车、真空编码器

3. VSS 微型系列（19~57mm 法兰）细分参数

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型号规格 法兰 保持扭矩 重量 典型应用

VSS19 19mm(NEMA8) 3.4~20 mNm 0.08kg 微型真空探针、小型光学调整架

VSS26 26mm(NEMA11) 28~120 mNm 0.13kg 冷冻电镜样品台、小型镀膜机

VSS32 32mm(NEMA14) 100~350 mNm 0.22kg 质谱仪、真空微调镜座

VSS42 42mm(NEMA17) 380~1200 mNm 0.38kg 半导体小型腔体、蒸镀靶材微调

VSS57 57mm(NEMA23) 1.8~6.2 Nm 0.75kg 中型真空炉、电子束设备

4. VSH 大功率系列（80~125mm 法兰）细分参数

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型号规格 法兰 保持扭矩 重量 典型应用

VSH80 80mm(NEMA34) 7.5~9.5 Nm 1.6kg 大型溅射腔体、真空热处理炉

VSH100 100mm 10~11.8 Nm 2.4kg 加速器光束调整机构

VSH125 125mm 12~13 Nm 3.2kg 重型真空平移台、大型靶源驱动

三、LA 真空低温线性执行器（一体化直线真空模组）

1. 工况适配

UHVS 高温真空版：10⁻¹¹ hPa，-40℃ ~ +200℃，高温真空平移

UHVC 低温版：10⁻¹¹ hPa，-196℃~-50℃；定制 UHVC2 可达 - 269℃液氦温区

抗辐射 10⁶ J/kg，适配冷冻样品台、低温真空输送机构

2. 核心技术参数

电机机座：25mm 两相步进，相电流 1.5A，DC24V

最大行程：13mm

最大轴向推力：10N；配行星减速可达 30N

移动速度：最高 1.5mm/s

定位精度：＜0.01mm，带机械式限位开关

润滑：干式固体润滑，无油脂挥发，超高真空专用

选配：K 型热电偶测温、精密行星减速、真空编码器

四、phySPACE 宇航级真空步进电机（太空 / 强辐射极限工况）

1. 工况适配

满足 ECSS 欧洲航天标准，10⁻¹¹ hPa 超高真空，温度 - 270℃~+200℃，抗 50g 冲击、强宇宙辐射，卫星、深空探测器、太空光学载荷专用，也用于地面航天模拟真空舱。

2. 主流型号参数

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型号 外径 保持扭矩 核心特点

phySPACE20 20mm 3.4 mNm 微型嵌入式，极低放气

phySPACE28 28mm 65 mNm 卫星小型姿态调整机构

phySPACE42 42mm 1.2 Nm 深空探测载荷、火星车执行机构

五、全系真空电机通用材料与真空核心特性

低析出材质：不锈钢壳体、聚酰亚胺绝缘、镀金引线、无有机胶粘剂，烘烤除气出厂

润滑方案：

常温真空：专用真空润滑脂

超低温 / 高温 UHV：干式固体二硫化钼润滑，无挥发污染腔体

放气控制：整机出厂真空烘烤，双层真空密封包装交付

振动冲击：标准耐受 20g 冲击；宇航版 50g，适合车载、航天移动真空设备

六、分行业选型工况对照表

半导体 / 镀膜：VSS42/VSH57 HV/UHV，10⁻⁷~10⁻¹¹hPa，+200℃高温，靶材、晶圆台驱动

冷冻电镜 / 低温科研：VSS UHVC / LA UHVC，-196℃液氮低温，超高真空

粒子加速器 / 光学平台：VSH80~125 UHV，大扭矩、超高定位精度

工业普通真空设备：VSS FV/HV，粗 / 高真空，性价比方案

航天空间模拟：phySPACE 全系，抗辐射、超宽温极限工况