Phytron VSS52-200.2.5-E-VGPL52/100-HV的极限真空是多少？
发布时间：2026-06-23 点击次数：1
Phytron VSS52-200.2.5-E-VGPL52/100-HV 极限真空参数
1、整机 HV 高真空等级官方极限真空
该型号后缀HV（High Vacuum） 整套电机 + VGPL 真空减速机原厂标称极限工作真空：10⁻¹¹ hPa（1×10 的负 11 次方百帕，超高真空 UHV 区间）。
单位换算：10⁻¹¹ hPa = 10⁻¹³ bar
真空分级定义：
高真空 HV 常规工况：10⁻⁷ ~ 10⁻⁹ hPa
极限超高真空耐受：10⁻¹¹ hPa（烘烤除气后长期稳定运行）
2、实现 10⁻¹¹ hPa 的配套工艺保障
整机全部低放气材料（TML＜1%、CVCM＜0.1%，满足宇航 ECSS 标准）；
电机定子、VGPL 减速机出厂 200℃高温真空烘烤除气；
电机、齿轮轴承采用真空专用固体润滑 / 极低蒸气压润滑脂，无油气挥发污染腔体；
机身预留排气泄压孔，避免内部闭腔滞留气体缓慢释放；
VGPL52/100 减速机同步 HV 真空配置，与电机真空等级一致，无泄漏短板。
3、区分：HV 与 UHVC 超低温真空版本
HV（本机型号）：标准高真空款，极限 10⁻¹¹ hPa，适用 - 40℃~+150℃通用真空设备（镀膜、质谱、风电真空试验台）；
UHVC：超低温超高真空款，同样 10⁻¹¹ hPa，额外适配液氮 / 液氦低温（-196℃~-269℃）电镜、低温靶台。
4、实用工况参考
日常量产设备（半导体镀膜、真空腔体）常规运行区间多为 10⁻⁷ ~ 10⁻⁹ hPa；10⁻¹¹ hPa 为设备极限可达真空指标，多用于实验室粒子加速器、空间模拟舱等高要求场景。
